Гост САНУ, проф. др Зигфрид Зелберхер,
Institute for Microelectronics, Technical University Wien, Austria.

CMOS – Compatible Gas Sensors

Координатор: академик Нинослав Стојадиновић.

Понедељак, 16. септембар 2019. године, 17:00 сати.
Универзитет у Нишу, Ниш, Универзитетски трг 2, Мултимедијална сала, бр. 8 / приземље.

У оквиру 31. Међународне коференције о микроелектроници – МИЕЛ 2019, др Зигфрид Зелберхер, који је учествовао и у раду Mиниколоквијума о нано- и флексибилној- електроници, одржао је – као гост САНУ – предавање на тему CMOS – Compatible Gas Sensors. Професор Зелберхер, са Техничког универзитета у Бечу (Аустрија), истакнути је  предавач IEEE Electron Devices Society и почасни доктор Универзитета у Нишу, аутор две књиге и преко 450 научних радова, ментор у изради преко 100 дисертација у области моделовања и симулације проблема у микроелектроници, носилац више почасних титула.

Како је, према Муровом закону, смањивање димензија транзистора водило ка приближавању њиховим физичким ограничењима, полупроводничка индустрија је – истакао је проф. Зелберхер – интензивно радила на функционалној интеграцији компонената, пратећи More-than-Moore приступ. Интеграција сензора, RF кола, и осталих функционалности са пратећом електроником омогућена је иновацијама у паковању, тродимензионалној интеграцији и, што је најважније, кроз производњу посебних компонената на бази силицијума коришћењем стандардне технологије. Са коришћењем танких слојева полупроводник-метал-оксид (SMO), појављује се и могућност интеграције сензора гасова са пратећом електроником. Професор Зелберхер је описао SMO гасне сензоре, њихов процес производње, као и њихове принципе рада који захтевају високе температуре, па према томе и интегрисане микрогрејаче са мембраном за изолацију високотемпературне компоненте од околне електронике. На крају, дискутована су и најновија достигнућа у пројектовању и производњи SMO танких слојева, као и разумевање и моделовање њихових сензорских механизама.